电子束蒸发是一种物理气相沉积(PVD)技术。它使用聚焦电子束在真空环境中加热和气化源材料。这样就能在基底上沉积薄而高纯度的涂层。
电子束蒸发如何工作?4 个简单步骤
1.产生电子束
高压电流(5-10 千伏)通过钨丝。这将钨丝加热至高温,并导致电子的热离子发射。
2.光束聚焦和瞄准
发射的电子利用磁场聚焦成统一的光束。然后,它们被引向装有待蒸发材料的坩埚。
3.材料蒸发
高能电子束将能量传递给坩埚中的材料。这将导致材料蒸发或升华。
4.在基底上沉积
蒸发的材料穿过真空室。它沉积到位于源材料上方的基底上,形成一层高纯度的薄涂层。
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