知识 什么是 PVD 技术?5 个关键步骤详解
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3周前

什么是 PVD 技术?5 个关键步骤详解

物理气相沉积(PVD)技术用于在各种表面沉积薄膜和涂层。

其方法是在真空环境中蒸发固体材料,然后将其冷凝到基底上。

最常见的 PVD 工艺是溅射和蒸发。

PVD 技术的 5 个关键步骤

什么是 PVD 技术?5 个关键步骤详解

1.蒸发

在这一阶段,源材料(可以是金属或其他化合物)被蒸发。

可采用热、电弧、电子束或激光烧蚀等方法。

蒸发源的选择取决于材料的特性和最终涂层所需的特性。

2.运输

蒸发后,材料以蒸汽的形式通过真空室。

真空环境至关重要,因为它可以降低气体颗粒密度,防止气体污染。

这可确保沉积的纯度和质量。

3.反应(反应式 PVD)

在某些情况下,气化材料会与真空室内的气体环境发生反应,形成化合物。

可以控制这种反应,在沉积薄膜中形成特定的化学成分。

这就增强了薄膜在特定应用中的性能。

4.沉积

气化的材料最终凝结在基底上,形成薄膜。

基底可以由金属、陶瓷、玻璃或聚合物等各种材料制成,具体取决于应用。

沉积过程受多种因素的影响,如蒸发源的能量、蒸发源与基底之间的距离以及基底材料的类型。

5.应用

PVD 广泛应用于需要薄膜以实现光学、机械、电气、声学或化学功能的行业。

例如半导体设备、太阳能电池、微机电设备和涂层切割工具。

PVD 技术用途广泛,可制造出具有特定性能的涂层,以提高各种产品和技术的性能。

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