热蒸发是一种在高真空环境中涂敷材料薄膜的工艺。
这种方法包括加热材料直至其蒸发，然后将其凝结在基底上。
它通常用于制造各种用途的涂层和薄膜。
热蒸发的例子是什么？(4 个关键步骤说明）
1.加热材料
在热蒸发过程中，要沉积的材料会被加热到很高的温度。
这通常是通过耐火金属元件（电阻蒸发）或直接从聚焦的高能电子束（电子束蒸发）进行焦耳加热。
加热方法的选择取决于材料的特性和所需的沉积特性。
2.高真空环境下的蒸发
加热过程会导致材料蒸发，产生蒸汽压。
在高真空环境中，蒸汽可以在不与其他原子发生反应或散射的情况下流动。
这种环境对于确保蒸汽流保持纯净并不受干扰地到达基底至关重要。
3.基底上的凝结
蒸发的材料穿过真空室并在基底上凝结，形成一层薄膜。
根据不同的应用，薄膜可以由不同的材料制成。
基底可以是玻璃片，也可以是半导体晶片，薄膜可以有多种用途，如提高耐久性、增强导电性或改变光学特性。
4.应用和优势
热蒸发是最古老的真空镀膜技术之一，以其简单和低能耗而著称。
它尤其适用于沉积能在蒸汽状态下保持稳定的材料。
多年来，该技术不断改进，如电子束蒸发可用于难熔材料的沉积，以及通过使用等离子体将该技术扩展到反应性蒸发。
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