等离子溅射 PVD 是一种物理气相沉积技术,利用等离子体在表面沉积薄层材料。
这种工艺可大大提高涂层物体的耐用性、耐磨性和硬度。
了解等离子体溅射 PVD 的 4 个关键步骤
1.等离子体激发
第一步,将需要沉积的材料置于等离子体中。
等离子体是一种由带电粒子组成的物质状态。
等离子体的相互作用会使材料气化。
等离子体通常通过射频(RF)或直流(DC)放电等技术产生,使真空室中的气体电离。
2.引入反应气体
一旦材料处于蒸气状态,反应气体就会被引入真空室。
在等离子环境的影响下,这种气体会与气化的材料相互作用。
3.形成化合物
反应气体和气化材料发生反应,形成化合物。
等离子体内的高能条件增强了气体的反应性,从而促进了这一反应。
4.沉积到基底上
然后将上一步形成的化合物沉积到基底上,基底就是要涂覆的物体。
沉积发生时,化合物从蒸气状态冷凝到基底表面,形成一层均匀的薄层。
等离子溅射 PVD 的变化和应用
等离子体溅射 PVD 可采用离子束溅射、反应溅射和高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) 等多种技术。
每种方法都有特定的应用和优势,具体取决于沉积的材料和最终涂层所需的性能。
例如,HiPIMS 以其高沉积率和制造致密、高质量涂层的能力而著称。
等离子溅射 PVD 的工业应用
工业领域利用 PVD 对部件进行涂层,以提高其性能和耐用性。
应用范围从电子和光学到切割工具和装饰品。
PVD 的多功能性允许沉积包括金属、陶瓷和各种化合物在内的多种材料,使其成为现代制造工艺中的一项重要技术。
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