薄膜沉积的化学方法称为化学气相沉积(CVD)。
在化学气相沉积法中,基片被放入真空室中。
加热两种化学前驱体,使其气化。
当这些气化的前驱体在基底表面相遇时,就会发生化学反应。
反应的结果是形成薄膜涂层。
CVD 是一种广泛用于制造具有特定材料特性的高性能薄膜的技术。
它常用于半导体制造和其他需要精确控制薄膜成分和厚度的行业。
什么是薄膜沉积的化学方法?需要了解的 5 个要点
1.化学气相沉积(CVD)
CVD 是用于薄膜沉积的化学方法。
2.基底放置
在此过程中,基底被放置在真空室中。
3.加热和气化
加热两种化学前体,使其汽化。
4.化学反应
当这些气化的前驱体在基底表面相遇时,就会发生化学反应。
5.形成薄膜
这种反应会形成薄膜涂层。
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