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低压化学气相沉积（LPCVD）是一种用于在基底上沉积薄膜的技术。
LPCVD 的沉积速率是多少？ 4 个关键因素解析
温度对 LPCVD 的沉积速率起着至关重要的作用。
沉积速率在很大程度上取决于表面反应速率，而表面反应速率随温度升高而增加。
LPCVD 在亚大气压下运行，通常在 0.1 到 10 托之间。
这种低压增强了气体扩散，减少了不必要的气相反应。
因此，它能提高薄膜的均匀性和沉积速率。
LPCVD 的沉积速率可通过改变前驱气体的比例来调节。例如，增加 DCS/NH3 比率会降低沉积速率。这表明这些气体之间的化学反应对薄膜的生长速度有很大影响。 4.前驱体气体的特定化学性质 前驱体气体的特定化学性质也起着至关重要的作用。
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