知识 什么是物理气相沉积原理?5 大要点解析
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 1周前

什么是物理气相沉积原理?5 大要点解析

物理气相沉积(PVD)是一种复杂的薄膜涂层工艺,用于在各种基底上涂覆纯金属、金属合金和陶瓷涂层。

该工艺是将固体材料物理转化为气态,然后沉积到基底上形成薄膜。

PVD 能够在原子水平上形成精确、均匀的涂层,因此被广泛应用于包括医疗领域在内的各行各业。

5 个要点详解:什么是物理气相沉积原理?

什么是物理气相沉积原理?5 大要点解析

1.物理气相沉积的基本原理

转化过程:物理气相沉积涉及通过各种方法(如热蒸发、溅射和脉冲激光沉积)将固体材料转化为气态的物理过程。

沉积过程:气化后的材料沉积到基底上,在基底上凝结成固态,形成薄膜。

2.PVD 技术的类型

热蒸发:包括在高真空室中加热固体材料,直至其蒸发。然后蒸汽在基底上凝结,形成薄膜。

溅射:用高能粒子轰击固体靶材,使原子从靶材中喷出并沉积到基底上。

脉冲激光沉积:使用高能激光束使目标材料气化,然后沉积到基底上。

3.PVD 的优点

精确和均匀:PVD 可制造高度精确和均匀的薄膜,这对于先进薄膜设备的应用至关重要。

材料范围广:PVD 可用于沉积多种材料,包括纯金属、金属合金和陶瓷。

与医疗应用兼容:原子级沉积工艺使 PVD 适用于医疗设备,因为精密涂层对与人体的兼容性至关重要。

4.与化学气相沉积(CVD)的比较

机理:化学气相沉积依赖于前驱体之间的化学反应,而 PVD 则不同,它是通过物理过程使材料蒸发和沉积。

温度要求:与 CVD 相比,PVD 通常需要较低的温度,因此更适用于对温度敏感的基底。

5.PVD 的应用

医疗设备:PVD 用于在医疗设备上镀上精密的生物相容性涂层,确保设备在人体内部或附近安全有效地运行。

先进薄膜设备:PVD 用于制造先进的薄膜设备,如 KINTEK 的 HEX 系列,以实现高精度和高均匀性。

总之,物理气相沉积(PVD)是一种多功能、精确的薄膜涂层工艺,包括将固体材料物理转化为蒸汽,然后沉积到基底上。

该工艺具有精度高、均匀性好、与多种材料兼容等众多优点,因此在各行各业,尤其是医疗领域和先进的薄膜设备制造领域不可或缺。

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