知识 什么是 PVD 金属化工艺?(4 个关键步骤详解)
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 3个月前

什么是 PVD 金属化工艺?(4 个关键步骤详解)

PVD 金属化或物理气相沉积是一种用于在基底上涂敷金属薄膜的工艺。

该工艺涉及多个关键步骤,所有步骤均在真空条件下进行,以确保高效、可控地进行金属镀膜。

PVD 金属化工艺的 4 个关键步骤

什么是 PVD 金属化工艺?(4 个关键步骤详解)

1.蒸发

PVD 金属化的第一步是蒸发。

在这一阶段,目标材料(通常是金属)暴露在电子或离子束等高能源下。

这种能量会使原子从目标材料表面脱离,从而有效地使其蒸发。

汽化后的原子即可沉积到工件上。

2.运输

蒸发后,气化的原子需要从靶材传输到基底,也就是要镀膜的工件。

这种移动是在真空环境中进行的,可以最大限度地减少与其他粒子的碰撞。

这确保了原子到达基底的直接而有效的路径。

3.反应

如果目标是金属,PVD 涂层通常由金属氧化物、氮化物、碳化物和类似材料组成。

在传输阶段,金属原子可能会与氧气、氮气或甲烷等特定气体发生反应。

这种反应发生在气相中,是在基底上形成特定化合物的关键。

4.沉积

最后一步是将汽化和可能发生反应的原子沉积到基底上。

当这些原子到达基底时,它们会凝结并形成薄膜。

沉积过程是逐个原子进行的,这增强了薄膜与基底的附着力。

这样就可以使用多种材料,包括金属、陶瓷,甚至塑料和玻璃。

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