溅射工艺是一种非热蒸发技术，用于通过物理气相沉积（PVD）制造薄膜。
与热蒸发方法不同，溅射不涉及源材料的熔化。
相反，它通过高能离子（通常为气态）的撞击将原子从目标材料中喷射出来。
这一过程由动量传递驱动，离子与目标材料碰撞，导致其中一些原子被物理撞出并沉积到基底上。
什么是蒸发的溅射过程？5 个要点说明
1.溅射机理
在溅射过程中，目标材料受到高能离子的轰击。
这些离子（通常是真空环境中的氩离子）在电场的作用下加速冲向靶材。
碰撞时，离子向目标材料原子传递的能量足以使原子从表面移开。
原子的抛射是由于进入的离子和目标原子之间的动量交换造成的。
喷出的原子穿过真空，沉积在基底上，形成薄膜。
2.溅射类型
溅射技术有多种类型，包括直流溅射、射频溅射、磁控溅射和反应溅射。
每种方法都根据用于产生等离子体的电气配置和发生溅射的特定条件而有所不同。
例如，直流溅射使用直流电来产生等离子体，而射频溅射则使用射频来避免电荷在绝缘目标材料上积聚。
3.溅射的优点
与其他沉积方法相比，溅射有几个优点。
喷射出的原子通常具有较高的动能，从而增强了对基底的附着力。
这种工艺对熔点较高的材料也很有效，因为这些材料很难热蒸发。
此外，溅射还可用于在绝缘体和塑料等多种基底上沉积薄膜，因为所涉及的工艺温度较低。
4.溅射的应用
溅射被广泛应用于各行各业的薄膜沉积，包括半导体、光学和装饰涂层。
它还用于分析技术，如二次离子质谱，通过溅射对目标材料的侵蚀，有助于分析极低浓度的材料成分和浓度。
5.影响因素
以溅射产率（每个入射离子射出的原子数）衡量的溅射过程的效率受多个因素的影响，包括入射离子的能量、质量、目标原子的质量以及固体的键能。
通过调整这些参数，可以精确控制沉积薄膜的形态和特性。
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