沉积技术有两种基本类型:物理沉积和化学沉积。
物理沉积技术:
- 物理沉积方法依靠热力学或机械过程生成薄膜,不涉及化学反应。这些技术需要低压环境,以获得功能性和准确的结果。物理沉积技术的例子包括蒸发:
- 加热材料直至其变成蒸汽,然后在基底上凝结形成薄膜。溅射:
- 用高能粒子轰击目标材料,使原子喷射出来并沉积到基底上。脉冲激光沉积(PLD):
高能激光束聚焦在目标材料上,使其气化并沉积到基底上。化学沉积技术:
- 化学沉积技术通过化学反应将材料沉积到基底上。这些方法可进一步分为
- 化学气相沉积(CVD): 前驱气体在基底表面发生反应,沉积出薄膜。
- 原子层沉积(ALD): 一种自限制工艺,按顺序引入前驱体,一次沉积一个原子层的薄膜。
电镀:
使用电流还原溶解的金属阳离子,使其在基底上形成一个连贯的金属镀层。每种沉积技术都有其独特的步骤,包括选择源材料、将材料输送到基底、沉积材料,以及可能对薄膜进行退火或热处理以达到所需的性能。沉积技术的选择取决于所需的厚度、基底的表面构成和沉积目的。这些技术对于为电子、光学和能源设备等各种应用制造具有定制特性的薄膜至关重要。