沉积，尤其是化学气相沉积（CVD），是一种化学过程。
这是因为它涉及在基底上形成固体材料的化学反应。
需要了解的 4 个要点
1.涉及的化学反应
在 CVD 过程中，首先是化学反应气体混合物或前驱体与基底接触。
前驱体可以是气态、液态或固态，在加热时会发生化学反应，产生活性蒸气。
反应通常包括蒸汽分解成原子和分子，和/或蒸汽与反应室中其他物质的相互作用。
这种化学变化至关重要，因为它会导致固体材料沉积在基底上。
2.沉积机理
CVD 的沉积过程通常分为三个主要步骤：
挥发性化合物的蒸发： 蒸发前驱体，即待沉积物质的化合物。
这一步骤可确保反应物处于气相状态，为随后的化学反应做好准备。
热分解和/或化学反应： 蒸汽会发生热分解或与基底表面的其他物质发生反应。
这一步是发生实际化学变化的地方，会形成新的化学物质。
反应产物的沉积： 这些化学反应的非挥发性产物沉积在基底上，形成一层固体薄膜。
这层薄膜是气相化学反应的结果。
3.化学反应的条件
CVD 的操作条件，如使用高温（约 1000°C）和不同压力（从几托到高于大气压），旨在促进这些化学反应。
这些条件对于前驱体的有效分解和随后形成所需的固体材料至关重要。
4.审查和更正
所提供的信息准确描述了 CVD 沉积过程的化学本质。
对过程的描述没有与事实不符的地方，而且清楚地说明了化学反应是在 CVD 中形成固体薄膜的核心。
因此，答案是正确的，无需修改。
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