在物理气相沉积（PVD）中，蒸发方法是一系列工艺的总称，其中源材料在真空室中被加热，直到其转化为蒸汽。然后，这种蒸汽穿过真空并冷凝到较冷的表面（称为基底）上，形成一层薄而均匀的薄膜。
其核心原理很简单：在真空中利用热能将固体材料转化为气体。这使得其原子能够畅通无阻地移动并沉积到目标表面上，形成高纯度涂层。
基本原理：从固体到蒸汽再到薄膜
整个过程由在受控真空条件下发生的简单三步序列控制。
步骤1：产生蒸汽
该过程首先向源材料（通常是固体块、粉末或线材）提供能量。这种能量将材料加热到其蒸发点，使其原子脱离表面并进入气相。
步骤2：通过真空传输
这种气相发生在高度真空的腔室中。真空至关重要，因为它会去除空气和其他气体分子，否则这些分子会与蒸汽原子碰撞，使其散射并引入杂质。在真空中，蒸汽原子以直线视线路径从源头移动到基底。
步骤3：冷凝和薄膜生长
当蒸汽原子到达较冷的基底时，它们会失去能量并重新凝结成固态。它们附着在表面上并逐渐逐个原子地堆积，形成一层与源材料化学成分相同的薄固体膜。
关键蒸发技术
虽然原理保持不变，但用于提供蒸发所需能量的方法不同。技术的选择取决于沉积的材料和所需的薄膜特性。
热蒸发（电阻加热）
这是最常见和最直接的方法。电流通过一个高电阻的灯丝或“舟”（通常由钨或钼制成），其中装有源材料。舟加热，将热能传递给材料并使其蒸发。
感应加热
在这种技术中，装有源材料的坩埚放置在线圈内。高频交流电（射频功率）通过线圈，产生变化的磁场。这个磁场在导电坩埚内产生涡流，使其迅速加热并蒸发内部材料。
电弧蒸发
这是一种用于制造非常坚硬和致密薄膜的高能过程。在高电流、低电压的电弧在固体源靶材表面点燃。电弧的强烈能量使材料的小点汽化，产生高度电离的蒸汽或等离子体，然后将其导向基底。
了解权衡
蒸发是一种强大的PVD方法，但了解其与溅射等其他技术相比的特性非常重要。
简单性与控制
蒸发系统，特别是热蒸发，通常更简单且操作成本更低。然而，与溅射相比，它们对薄膜的结构和密度控制较少。
沉积速率与薄膜附着力
蒸发可以实现非常高的沉积速率，使其对某些应用高效。然而，由于蒸汽原子以相对较低的动能到达，薄膜与基底的附着力有时可能比电弧蒸发或溅射等高能工艺产生的薄膜弱。
视线限制
由于蒸汽沿直线传播，蒸发最适合涂覆平面或光滑弯曲的表面。在具有阴影区域的复杂三维形状上实现均匀涂层可能具有挑战性。
为您的目标做出正确选择
选择合适的蒸发技术取决于将工艺能力与您对材料和最终薄膜的特定要求相匹配。
- 如果您的主要关注点是简单金属涂层的成本效益：热（电阻）蒸发通常是理想的选择，因为它简单且沉积速率高。
- 如果您的主要关注点是沉积高纯度或高熔点材料：感应加热或电子束蒸发（一种相关技术）提供必要的能量，而无需加热元件的直接接触。
- 如果您的主要关注点是制造极其坚硬、致密和耐用的薄膜：电弧蒸发更优越，因为它产生的等离子体能形成更坚固和附着力更强的涂层。
最终，掌握蒸发方法意味着理解您只是在控制物质从固体到气体再到固体的转变。
总结表：
| 关键方面 | 描述 |
|---|---|
| 核心原理 | 在真空中加热固体源材料，直至其汽化并冷凝到基底上。 |
| 关键技术 | 热（电阻）、感应（射频）、电弧蒸发。 |
| 主要优点 | 高沉积速率和高纯度薄膜。 |
| 主要限制 | 视线沉积，不适用于复杂的3D形状。 |
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