合成纳米材料最常用的方法是化学气相沉积(CVD)法。CVD 是一种值得信赖的化学技术,用于在各种基底上生产二维纳米材料和薄膜。在这种方法中,前驱体材料以蒸气形式在基底上发生反应或分解,无论是否使用催化剂,均在温度升高的抽真空室中进行。
CVD 有多种变体,包括低压 CVD、常压 CVD、热壁 CVD、冷壁 CVD、等离子体增强 CVD、光辅助 CVD 和激光辅助 CVD。这些变体在操作条件方面具有灵活性,可根据特定的纳米材料合成要求进行定制。
CVD 法已被广泛用于合成各种碳基纳米材料,如富勒烯、碳纳米管 (CNT)、碳纳米纤维 (CNF)、石墨烯等。这些纳米材料具有独特的热学、电学和机械特性,适合广泛的应用。
虽然物理气相沉积、溶胶凝胶、电沉积和球磨等其他方法也可用于合成纳米材料,但 CVD 被认为是最成功的低成本规模化制备方法。然而,应该指出的是,传统的 CVD 方法存在一些缺点,包括工作温度高、可能使用金属催化剂、污染、缺陷以及生长后转移带来的间隙。
为了解决这些缺点,人们开发了等离子体增强型 CVD(PECVD)。PECVD 可在低温下实现无催化剂原位制备,因此成为纳米材料合成实际应用的必备方法。
总之,CVD 方法(包括其变体,如 PECVD)是最常见、最广泛应用的纳米材料合成技术。它具有可扩展性、多功能性以及生产各种具有独特性质的碳基纳米材料的能力。
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