热蒸发是一种在高真空环境中加热固体材料以生成薄膜的方法。
这种方法简单有效,可沉积多种材料。
5 个关键步骤说明
1.加热材料
该工艺首先要加热固体材料。
这种材料通常放置在电阻舟中。
热量通过焦耳加热提供,即电流通过电阻舟,使其升温。
这种加热一直持续到材料达到蒸发点。
此时,表面原子获得足够的能量离开表面,变成蒸气。
2.创造高真空环境
高真空环境对热蒸发至关重要。
这种环境使用真空泵来创建。
真空泵可去除可能干扰沉积过程的气体颗粒。
真空可确保气化分子从源到基底的过程中不会与其他颗粒发生碰撞。
这就保持了它们的方向和能量。
3.蒸发和沉积
材料一旦气化,就会形成穿越真空室的蒸汽流。
真空使气流在移动过程中不会与其他原子发生反应或散射。
然后,蒸气到达基底,在那里凝结并形成薄膜。
蒸发源和基底之间的距离经过严格控制,以确保高效沉积。
4.薄膜的形成
凝结在基底上的蒸气成核并生长,形成薄膜。
薄膜可以是各种材料,取决于所使用的源材料。
可重复此过程,使薄膜生长到所需的厚度。
5.应用和优点
热蒸发被广泛应用于实验室和工业环境中。
它之所以受欢迎,是因为其操作简单,能够沉积各种材料。
它不需要复杂的前驱体或反应气体,是一种简单可靠的薄膜沉积方法。
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