热沉积又称热蒸发，是物理气相沉积（PVD）中使用的一种技术。
它是在高真空环境下将材料加热到其蒸发点。
这将导致材料汽化，然后以薄膜的形式沉积在基底上。
这种方法以简单、沉积率高和材料利用率高而著称。
它被广泛应用于光学、电子和太阳能电池等行业。
什么是热沉积法？需要了解的 5 个要点
1.热沉积机理
该工艺首先将目标材料置于蒸发源内。
蒸发源可以是船、线圈或篮子。
然后通过电流加热蒸发源。
由于蒸发源的电阻，这将使材料达到其蒸发点。
这种加热方法通常称为电阻蒸发。
蒸发后，材料分子穿过真空，凝结在基底表面。
这就形成了一层薄膜。
这种方法用途广泛，可用于沉积多种材料。
这些材料包括铝、银、镍、铬和镁等金属。
2.热沉积的应用
热蒸发被广泛用于制造各种元件。
其中包括太阳能电池中的金属结合层、薄膜晶体管、半导体晶片和碳基有机发光二极管。
生产的薄膜可以是单一成分，也可以是不同材料的共沉积。
这取决于应用的具体要求。
3.优势和改进
热蒸发的主要优点之一是沉积率高和材料使用效率高。
电子束沉积等技术进一步增强了这种方法。
这样就能生产出高精度的高质量涂层。
热蒸发对于在设备上沉积导电金属层尤为有效。
这些设备包括太阳能电池、有机发光二极管显示器和薄膜晶体管。
4.与其他沉积方法的比较
虽然热蒸发是一种常见的方法，但还有其他沉积技术。
其中一种技术是溅射沉积，它利用等离子体将目标材料中的离子转移到基底上。
每种方法都有其自身的优势，并根据应用的具体需求进行选择。
5.总结
热沉积是 PVD 工艺中广泛使用的基本方法。
它为薄膜沉积提供了一种简单直接的方法，具有高效率和多用途的特点，适用于各行各业。
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