金属气相沉积是一种将金属薄层沉积到基底上的工艺。
该工艺通常在真空环境中进行。
它将金属转化为气态，然后冷凝到基底表面形成薄膜。
气相沉积有两种主要类型：物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。
5 个要点说明
1.物理气相沉积（PVD）
在 PVD 中，金属通过热力学或机电过程被激发。
这将使金属释放出特定的分子蒸汽。
然后将蒸气沉积到基底上。
常见的 PVD 技术包括真空热蒸发、溅射沉积和电子束沉积。
真空热蒸发是指在真空中将金属加热到沸点。
这将导致金属蒸发并沉积到基底上。
溅射沉积是用高能粒子轰击金属制成的目标。
这将导致原子喷射并沉积到基底上。
电子束沉积使用电子束加热金属。
这将导致金属蒸发并沉积到基底上。
2.化学气相沉积（CVD）
化学气相沉积通过化学反应产生金属气相。
此过程中使用的化学物质会在基底表面分解。
这就形成了金属膜的沉积。
CVD 可以精确控制沉积薄膜的相位和结构。
这使得它在各种应用中都能发挥作用。
3.应用
金属的气相沉积应用广泛。
这些应用包括半导体制造、光纤系统、工业激光系统、医疗电子设备、生物医学设备、高级光学和成像应用，以及各种消费、商业和工业电子产品。
4.4. 优点
气相沉积系统的优点包括能够精确控制沉积过程。
它还可以生产大量薄膜。
气相沉积系统的设置和使用相对简单。
这使得气相沉积技术对大型工业应用和小型企业都很有吸引力。
5.金属化
金属化是将金属薄膜附着在表面上的过程。
传统的电镀技术已经使用了几个世纪，而气相沉积技术则提供了一种更现代化的方法，可在各种载体表面沉积金属薄层。
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