简而言之，气相传输沉积并非单一工艺，而是一个广义术语，描述了将材料以气态或蒸汽态移动，并将其作为固体薄膜沉积到表面上的方法。此类别主要包含两种截然不同的技术家族：物理气相沉积 (PVD)，其中材料被物理移动；以及化学气相沉积 (CVD)，其中通过化学反应在表面形成新材料。
关键的区别在于材料的传输方式。在 PVD 中，您本质上是用从固体源物理汽化出来的原子进行“喷漆”。在 CVD 中，您引入前体气体，这些气体在目标表面上反应并“烘烤”出新的固体层。
物理气相沉积 (PVD)："物理移动"
物理气相沉积，有时也称为物理气相传输 (PVT)，是一种涉及纯粹物理状态变化的工艺。被沉积的材料从固体开始，变成气体，然后再次变成固体，而其化学性质保持不变。
机制：从固体到蒸汽
该过程在真空室中进行，首先将固体源材料（称为“靶材”）转化为蒸汽。
这通常通过两种方法之一实现：蒸发，即加热材料直至其汽化；或溅射，即用高能离子轰击靶材，将原子击出。
在衬底上凝结
一旦处于蒸汽状态，这些原子或分子会穿过真空并凝结在较冷的衬底（被涂覆的部件）上。
这种直接的、视线内的传输形成了一层薄而坚固的薄膜。此工艺非常适合沉积熔点非常高的材料。
化学气相沉积 (CVD)："化学创造"
化学气相沉积依靠化学反应形成涂层。您不是从固体形式的最终材料开始，而是从一种或多种挥发性前体气体开始。
机制：从前体气体到固体薄膜
将衬底放置在反应室中，并引入前体气体——其中包含最终薄膜所需的原子。
将反应室加热到特定的反应温度，提供触发化学变化所需的能量。
表面反应
前体气体在热衬底表面上反应或分解，留下所需的固体材料作为涂层。
反应产生的其他气态副产物则被简单地带走。此过程允许涂层在表面上分子接分子地“生长”。
了解主要区别和权衡
在 PVD 和 CVD 之间进行选择需要了解它们的基本区别，因为每种方法都有其独特的优势。
材料来源
PVD 使用您想要沉积的精确材料的固体源。
CVD 使用挥发性前体气体，这些气体在表面上化学结合或分解形成所需的材料。
转化过程
PVD 的核心是物理相变：从固体到气体再回到固体。
CVD 的核心是化学反应，它从气态反应物中产生全新的固体产物。
覆盖率和共形性
由于 PVD 是视线内的过程，因此它难以均匀地涂覆复杂的、三维形状。不在蒸汽源直接路径上的区域几乎没有涂层。
CVD 不是视线内的过程。前体气体可以流过所有暴露的表面并在其上反应，从而形成极其均匀（共形）的涂层，即使在复杂的部件上也是如此。
操作条件
CVD 通常需要较高的衬底温度来驱动必要的化学反应。
PVD 工艺通常可以在较低温度下进行，使其适用于涂覆不能承受高温的材料。
为您的应用做出正确选择
您的最终目标决定了哪种方法更合适。
- 如果您的主要重点是均匀涂覆复杂的 3D 物体： CVD 通常是更好的选择，因为化学反应可以同时在所有表面上发生。
- 如果您的主要重点是沉积具有高附着力的纯金属或合金： PVD 是一种直接而强大的方法，非常适合此目的，特别是对于高性能金属涂层。
- 如果您的主要重点是涂覆对温度敏感的材料： 较低温度的 PVD 工艺可能是更可行的选择，以避免损坏衬底。
最终，了解您的材料是需要物理移动还是化学生成是为您的项目选择正确沉积技术的关键。
总结表：
| 特征 | PVD（物理气相沉积） | CVD（化学气相沉积） |
|---|---|---|
| 材料来源 | 固体靶材 | 气态前体化学品 |
| 转化 | 物理相变 | 化学反应 |
| 覆盖率 | 视线内（均匀性较差） | 共形（高度均匀） |
| 温度 | 较低温度 | 较高温度 |
| 最适合 | 纯金属、热敏衬底 | 复杂 3D 形状、均匀涂层 |
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