热蒸发用于制造各种用途的薄膜，尤其是在电子和光学行业。这种技术是在高真空环境中加热材料直至其蒸发，然后将蒸气冷凝到基底上形成薄膜涂层。
答案摘要
热蒸发是一种物理气相沉积技术，用于在基底上沉积材料薄膜。它特别适用于电子和光学设备的制造，包括太阳能电池、有机发光二极管显示器和微机电系统。
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详细说明：工艺概述：
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热蒸发首先需要一个真空室，真空室中装有一个由钨或钼等难熔材料制成的坩埚或坩埚船。要沉积的材料（蒸发剂）被放置在坩埚内。然后对真空室进行抽真空，以创造一个高真空环境，从而防止蒸发材料与其他原子发生反应或散射。
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加热和蒸发：
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通常通过对电阻舟进行焦耳加热，将蒸发剂加热到其蒸发点。高温会导致材料汽化，形成蒸汽云。即使在真空度相对较低的情况下，蒸汽压力也足以形成蒸汽流。沉积到基底上：
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气化的材料穿过腔室，沉积到基底上。在这里，它凝结成一层薄膜。薄膜的厚度和质量可通过调节蒸发剂温度、沉积速率以及蒸发剂与基底之间的距离等参数来控制。
材料和应用：
热蒸发可沉积多种材料，包括铝、银、镍和铬等金属，以及半导体和有机化合物。这种多功能性使其适用于电子行业的众多应用，如太阳能电池、有机发光二极管显示器和微机电系统的生产。
