蒸发材料是通过蒸发过程在表面上形成薄膜或涂层的物质。
这些材料被加热到高温，直至开始蒸发。
在真空环境中，气化的材料直接进入物体表面，通常是基底，也就是要镀膜的目标。
在那里，气化的材料开始凝结，并在基底上形成一层薄膜。
蒸发过程中使用什么材料？需要了解的 7 个要点
1.使用的材料类型
用于蒸发的材料从纯金属到各种化合物，如锑化物、砷化物、硼化物、碳化物、氟化物、氮化物、氧化物、硒化物、硅化物、硫化物和碲化物。
例如常用于光学镀膜的金，以及在太阳能电池和传感器生产中至关重要的各种氧化物和氮化物。
2.纯度水平
蒸发材料的纯度水平至关重要，通常在 99.9% 到 99.99999% 之间，具体视应用而定。
高纯度对于确保涂层的完整性和性能至关重要，尤其是在光学元件和医疗设备等敏感应用中。
3.蒸发材料的形状
蒸发材料有各种形状，包括块状、箔状、颗粒状、线状、棒状、丸状和弹头状。
形状的选择取决于特定的蒸发技术以及蒸发过程中处理和加热的难易程度。
4.热蒸发技术
有几种热蒸发技术可供选择：
- 电阻加热蒸发： 材料在电阻加热的坩埚中加热，蒸汽在基底上凝结。
- 电子束蒸发： 电子束聚焦在材料上，使其迅速加热并蒸发。
- 闪蒸： 使用大电流脉冲或强热源将材料快速加热至蒸发温度。
- 感应加热蒸发： 感应加热在源材料中产生电流，导致加热和蒸发。
5.蒸发源
蒸发源包括蒸发舟、蒸发池和坩埚。
蒸发舟通常由钨或钼制成，用于使用加热元件或电子束蒸发固体材料。
蒸发池用于将液态或气态材料加热至高温，使其汽化。
坩埚用于盛放利用加热元件或电子束汽化的固体材料。
6.沉积室
沉积室配备有各种蒸发源，包括简单的金属舟和耐火线加热器，通常由钨或钼制成。
对于精密蒸发过程，可使用更复杂的蒸发室，其坩埚由氮化硼等被动材料制成，并配有外部加热器。
分子束外延通常使用这些蒸发池，以确保材料的精确和可控沉积。
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