蒸发材料是通过蒸发过程在表面上形成薄膜或涂层的物质。这些材料被加热到高温，直至开始蒸发。在真空环境中，气化的材料直接进入物体表面，通常是基底，也就是要镀膜的目标。在那里，汽化的材料开始凝结，并在基底上形成一层薄膜。
蒸发过程中使用的材料：
用于蒸发的材料包括纯金属和各种化合物，如锑化物、砷化物、硼化物、碳化物、氟化物、氮化物、氧化物、硒化物、硅化物、硫化物和碲化物。例如常用于光学镀膜的金，以及对太阳能电池和传感器生产至关重要的各种氧化物和氮化物。纯度等级：
蒸发材料的纯度水平至关重要，通常在 99.9% 到 99.99999% 之间，具体视应用而定。高纯度对于确保涂层的完整性和性能至关重要，尤其是在光学元件和医疗设备等敏感应用中。
蒸发材料的形状：
- 蒸发材料的形状多种多样，包括块状、箔状、颗粒状、线状、棒状、丸状和弹头状。形状的选择取决于特定的蒸发技术以及蒸发过程中处理和加热的难易程度。热蒸发技术：
- 热蒸发有多种技术，包括
- 电阻加热蒸发： 材料在电阻加热坩埚中加热，蒸汽在基底上凝结。
- 电子束蒸发： 电子束聚焦在材料上，使其迅速加热并蒸发。
闪蒸： 使用大电流脉冲或强热源将材料快速加热至蒸发温度。
感应加热蒸发： 感应加热在源材料中产生电流，导致加热和蒸发。
蒸发源：
