SEM 使用溅射涂层来增强显微镜的成像能力。
它能提高样品的导电性。
这可以减少光束损伤,提高图像质量。
这对于不导电或导电性差的样品尤为重要。
为什么要在 SEM 中使用溅射镀膜机?5 大优势
1.提高导电性
在扫描电子显微镜中使用溅射涂层的主要原因是为了提高样品的导电性。
许多样品,尤其是生物和非金属材料,都是不良导体。
在扫描电子显微镜中,电子束与样品相互作用。
如果样品不导电,就会积累电荷,导致图像失真,甚至损坏样品。
使用金或铂等金属进行溅射镀膜可提供一个导电层,防止电荷积聚。
它能使电子束与样品有效地相互作用。
2.减少电子束损伤
扫描电子显微镜中的高能电子束会对敏感样品,尤其是有机材料造成损坏。
薄金属涂层可以起到缓冲作用,吸收电子束的部分能量。
这就减少了对样品的直接影响。
这有助于保持样品的完整性,并通过多次扫描获得更清晰的图像。
3.增强二次电子发射
二次电子是扫描电子显微镜成像的关键,因为它们提供了图像的对比度。
溅射涂层通过提供一个导电表面来促进二次电子的发射过程,从而增强了二次电子的发射。
这将提高信噪比,这对获得高分辨率图像至关重要。
4.提高边缘分辨率
溅射镀膜还能减少电子束对样品的穿透。
这对提高图像的边缘分辨率尤为有利。
这对于详细分析样品表面和结构至关重要。
5.保护对电子束敏感的样品
对于非常敏感的样品,金属涂层不仅能提高导电性,还能提供一个保护层。
这可以使样品免受电子束的直接冲击,从而防止损坏。
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