是的，可以在铝上进行物理气相沉积（PVD）。半导体行业通常使用这种技术在晶片上沉积铝膜。
关于铝的 PVD 的 5 个重要见解
1.用于铝沉积的技术
在硅加工过程中，PVD 通常采用靶溅镀而不是蒸发，因为其具有更好的阶跃覆盖率。
对于铝互连层，等离子体诱导溅射是首选方法。
这种技术是利用等离子体将原子从靶材（此处为铝）上喷射出来，然后沉积到基底上形成薄膜。
2.工艺细节
溅射的铝原子落在晶片表面，形成一层金属薄膜，可进一步加工成导体线。
薄膜的厚度与导体线的宽度成正比，一般为几百纳米。
这种方法不仅对铝等金属层有效，也可用于沉积非金属层，但化学气相沉积（CVD）更常用于绝缘体。
3.铝的 PVD 优点
与溅射等其他方法相比，使用 PVD 法沉积铝具有多种优势，包括薄膜沉积速率高、基底表面损伤小、高真空条件下的薄膜纯度极佳以及减少基底的意外加热。
4.在半导体工业中的应用
在半导体工业中，PVD 蒸发法被广泛用于在晶片上沉积铝和其他金属膜。
这种应用对于建立集成电路运行所需的导电通道至关重要。
5.研发
PVD 的持续研究不断完善该工艺，重点是优化沉积速率和改善涂层的机械和摩擦学特性。
目前正在通过各种 PVD 技术和技术进步来解决基底温升和冷却过程中产生不良应力等难题。
总之，PVD 是一种可行且广泛使用的沉积铝膜的方法，特别是在半导体行业，它对集成电路的制造至关重要。该技术在沉积速率、薄膜纯度和基底损伤最小等方面具有显著优势，因此成为铝沉积的首选。
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