与普遍的假设相反，在大多数物理气相沉积（PVD）工艺中，基板温度对沉积速率的影响非常小。速率主要由离开源的材料量决定。温度的关键作用不在于控制速度，而在于决定最终薄膜的质量、密度和结构。
核心要点是：停止将温度视为沉积速率的控制因素，开始将其视为薄膜质量的主要控制因素。您的工艺温度直接决定了您所沉积材料的最终性能。
为什么温度对速率的影响很小
工艺由源通量决定
在常见的沉积技术中，如溅射或热蒸发，该过程本质上是将原子从源材料转移到基板上。速率几乎完全取决于每单位时间内从源材料中喷射出的原子数量。
这种“源通量”由溅射功率或灯丝温度等参数控制，而不是接收原子的基板的温度。
表面附着系数
对于大多数材料，“附着系数”——到达的原子粘附到表面的概率——已经非常接近1。提高基板温度不会显著改变这一点。无论温度如何适度变化，到达的原子几乎总是会附着。
例外情况：化学气相沉积（CVD）
区分PVD和化学气相沉积（CVD）至关重要。在CVD中，前驱体气体必须在基板表面热分解和反应才能形成薄膜。在这种情况下，基板温度是反应速率的主要驱动因素，因此直接控制沉积速率。
基板温度的真正作用：薄膜质量
增强表面迁移率
基板加热的最重要功能是使沉积的原子（称为“吸附原子”）在着陆到表面后获得更多的热能。这种能量使它们在锁定到位之前能够在表面移动。
实现更致密的薄膜
这种增加的表面迁移率是获得高质量薄膜的关键。移动的吸附原子可以找到更有利的能量位点，填充微观空隙和间隙。这个被称为致密化的过程，产生了一个更坚固、孔隙更少的薄膜结构。
改善附着力和晶体结构
吸附原子的迁移率也有助于与基板材料更好地结合，从而提高附着力。此外，如果能量足够，原子可以排列成有序的晶体结构，而不是无序的非晶结构，这对于光学或电子性能至关重要。
理解权衡
热应力和失配
加热基板然后在沉积后冷却它可能会引入显著的应力。如果薄膜和基板的热膨胀系数不同，这种应力可能导致薄膜开裂、剥落或分层。
发生不需要反应的可能性
在高温下，沉积的材料可能会与基板或真空室中残留的气体发生反应。这可能会产生不需要的界面层或污染薄膜，从而改变其预期的性能。
基板限制
许多基板，如聚合物、塑料或复杂的预制器件，都有严格的温度限制。超过这些限制可能会损坏或毁坏基板，使得高温沉积变得不可能。
为您的目标设定正确的温度
为了正确控制您的工艺，您必须将速率和质量的概念分开。使用源控制来控制速率，使用基板加热器来控制质量。
- 如果您的主要重点是最大化沉积速度： 专注于增加源通量（例如，溅射功率或蒸发速率），因为这是沉积速率的直接控制因素。
- 如果您的主要重点是高密度、耐用的薄膜： 较高的基板温度是提高吸附原子迁移率最有效的工具，这可以减少空隙并改善薄膜结构。
- 如果您正在处理对热敏感的基板： 您必须找到一个平衡点，可能需要接受密度较低的薄膜，或者探索替代能源，如离子辅助沉积，以在不使用高温的情况下提高质量。
最终，将基板温度视为控制薄膜最终质量和性能的精密旋钮，而不是速度的油门。
摘要表：
| 因素 | 对沉积的主要影响 | 关键控制参数 |
|---|---|---|
| 源通量 | 直接决定沉积的速率 | 溅射功率，蒸发速率 |
| 基板温度 | 主要控制薄膜质量（密度、结构、附着力） | 加热器温度 |
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