化学气相沉积（CVD）是一种生产大面积、高质量石墨烯的高效方法。
它主要使用铜、钴和镍等过渡金属基底。
该工艺包括在高温下将碳氢化合物前驱体分解成碳自由基。
然后，这些自由基在金属表面形成石墨烯层。
这种方法因其可扩展性、成本效益以及控制石墨烯质量和均匀性的能力而备受青睐。
什么是化学气相沉积石墨烯？ 4 个要点说明
1.工艺概述
在 CVD 过程中，气态前驱体（通常是甲烷或乙烯等碳氢化合物）被引入反应器。
它们遇到加热的金属基底。
反应器中的高温会使这些气体分解成碳自由基。
然后，这些自由基与金属表面相互作用，成核并生长成石墨烯层。
2.金属基底的作用
金属基底的选择至关重要。
它不仅能催化反应，还能影响石墨烯的生长和质量。
铜尤其受青睐，因为它几乎只允许形成单层石墨烯。
另一方面，镍则倾向于形成多层石墨烯，这在某些应用中可能是有利的。
基底的特性决定了成核密度、生长速度和形成的石墨烯层数，从而影响最终产品的电气和机械特性。
3.CVD 的优点
CVD 被认为具有优越性有几个原因：
- 可扩展性： 它可以生产适合工业应用的大面积石墨烯薄膜。
- 质量控制： 可对工艺参数进行微调，以获得高质量、均匀且缺陷极少的石墨烯。
- 多功能性： 可使用不同的金属基底和前驱体气体来定制石墨烯的特性，以满足特定应用的需要。
4.应用和未来展望
CVD 技术生产的高质量石墨烯非常适合应用于电子领域。
它可用于晶体管、传感器和透明导体。
石墨烯在腐蚀涂层和其他保护层中的应用也凸显了它的多功能性。
CVD 能够生产大块、无缺陷的石墨烯薄片，因此成为石墨烯基材料和设备持续发展的关键技术。
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