扫描电子显微镜的溅射镀膜是指在不导电或导电性差的试样上镀上一层超薄导电金属层。
这一过程有助于防止充电并提高成像质量。
它使用金、铂、银或铬等金属，厚度通常为 2-20 纳米。
什么是 SEM 的溅射镀膜？5 大优势解析
1.金属镀膜的应用
溅射镀膜是在试样上沉积一薄层金属。
这对于不导电的试样至关重要。
如果没有这种涂层，在扫描电子显微镜（SEM）分析过程中就会产生静电场。
常用的金属包括金、铂、银、铬等。
选择这些金属是因为它们具有导电性并能形成稳定的薄膜。
2.防止带电
由于与电子束的相互作用，扫描电镜中的非导电材料会产生电荷。
这种电荷会扭曲图像并干扰分析。
通过溅射涂层应用的导电金属层有助于消散这种电荷。
这就确保了图像的清晰和准确。
3.增强二次电子发射
金属涂层还能增强试样表面的二次电子发射。
这些二次电子对 SEM 的成像至关重要。
它们的发射增加可提高信噪比。
从而获得更清晰、更细致的图像。
4.SEM 样品的优点
减少显微镜光束损伤
金属涂层有助于保护试样免受电子束的损坏。
增强热传导
导电层有助于散发电子束产生的热量。
从而保护试样免受热损伤。
减少样品充电
如前所述，导电层可防止静电荷的积累。
改善二次电子发射
这直接提高了 SEM 图像的质量。
减少光束穿透，提高边缘分辨率
薄金属层可减少电子束的穿透深度。
这就提高了图像边缘和细节的分辨率。
保护对光束敏感的试样
涂层对敏感材料起到屏蔽作用。
它能防止电子束的直接照射。
5.溅射薄膜的厚度
溅射薄膜的厚度通常在 2 纳米到 20 纳米之间。
选择这一厚度范围是为了兼顾足够的导电性，同时又不会明显改变试样的表面形貌或特性。
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