扫描电子显微镜的溅射镀膜是指在不导电或导电性差的试样上镀上一层超薄导电金属层，以防止带电并提高成像质量。该工艺使用金、铂、银或铬等金属，厚度通常为 2-20 纳米。其优点包括减少光束损伤、改善热传导、减少样品充电、增强二次电子发射、提高边缘分辨率以及保护对光束敏感的样品。
详细说明：
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金属涂层的应用：
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溅射镀膜是在试样上沉积一薄层金属。这对于不导电的试样至关重要，否则它们会在扫描电子显微镜（SEM）分析过程中积累静电场。通常用于此目的的金属包括金、铂、银、铬和其他金属，这些金属因其导电性和形成稳定薄膜的能力而被选用。防止充电：
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扫描电子显微镜中的非导电材料会在与电子束的相互作用下产生电荷，从而扭曲图像并干扰分析。通过溅射镀膜形成的导电金属层有助于消散电荷，确保图像清晰准确。
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增强二次电子发射：
- 金属涂层还能增强试样表面的二次电子发射。这些二次电子对扫描电子显微镜的成像至关重要，增加它们的发射可提高信噪比，从而获得更清晰、更细致的图像。
- SEM 样品的优点减少显微镜光束损伤：
- 金属涂层有助于保护样品免受电子束的损坏。增强热传导：
- 导电层有助于散去电子束产生的热量，保护试样免受热损伤。减少样品充电：
- 如前所述，导电层可防止静电荷的积累。改善二次电子发射：
- 这直接提高了 SEM 图像的质量。减少光束穿透，提高边缘分辨率：
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薄金属层可降低电子束穿透深度，提高图像边缘和细节的分辨率。保护对光束敏感的样品：
涂层可作为敏感材料的防护罩，防止其直接暴露于电子束中。
溅射薄膜的厚度：
