热蒸发是一种物理气相沉积技术。
它是在高真空环境下将材料加热到其蒸发点。
这将导致材料汽化，然后在基底上凝结成薄膜。
这种方法因其简便性和可沉积铝、银、镍、铬和镁等多种材料而被广泛使用。
什么是热蒸发法？4 个关键步骤说明
1.加热过程
将材料加热至高温。
通常是通过电阻舟进行焦耳加热，或通过聚焦的高能电子束直接加热（电子束蒸发）。
这种高温是材料汽化所必需的。
蒸发是通过升华或沸腾材料来实现的。
2.蒸汽传输
一旦汽化，材料的分子就会从源传输到基底。
这种传输是在高真空环境中进行的。
高真空环境对于防止蒸气与空气分子相互作用至关重要。
它还能确保沉积过程的清洁。
3.沉积和凝结
气化的分子到达基底后凝结成薄膜。
这一凝结过程至关重要，因为它决定了薄膜的质量和均匀性。
薄膜的厚度和特性可通过调节蒸发速度和过程持续时间来控制。
4.可重复性和生长
可进行多次蒸发和冷凝循环，使薄膜生长到所需的厚度。
这种可重复性是热蒸发的一大优势。
它可以精确控制薄膜的特性。
在实验室和工业环境中，热蒸发对沉积薄膜特别有用。
它操作简单，可处理的材料范围广泛。
它是最古老的真空镀膜技术之一，由于其有效性和多功能性，至今仍具有重要意义。
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