热蒸发沉积是物理气相沉积（PVD）中用于在基底上形成薄膜的一种方法。这一过程包括在高真空室中将材料加热到高温，使其蒸发，然后凝结在基底上，形成薄膜。
6 个要点说明
1.工艺设置
工艺开始于一个不锈钢制成的真空室，其中装有一个由钨或钼等难熔材料制成的坩埚或坩埚舟。要沉积的材料（蒸发剂）被放置在坩埚内。
2.加热和蒸发
使用电阻加热将材料加热到非常高的温度，使其蒸发。这种高温是克服材料蒸气压的必要条件，使其能够有效蒸发。
3.运输和沉积
蒸发后的材料形成蒸汽，通过真空室并沉积到基底表面。真空环境至关重要，因为它可以防止蒸气与空气分子发生反应，确保沉积的清洁。
4.凝结和薄膜形成
蒸汽到达基底后，会凝结成一层固体薄膜。薄膜的厚度和均匀性可以通过调节蒸发速度和沉积过程的持续时间来控制。
5.应用
热蒸发沉积可用于各行各业。例如，它可用于在有机发光二极管和太阳能电池等设备中形成金属结合层。它还在生产薄膜晶体管和用于食品包装和装饰的金属化聚合物薄膜中发挥作用。
6.技术差异
热蒸发有不同的方法，例如电子束蒸发法，它使用高能电子束蒸发材料。这种方法尤其适用于太阳能电池板和玻璃等应用。
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