热蒸发沉积是物理气相沉积(PVD)中在基底上形成薄膜的一种方法。这一过程包括在高真空室中将材料加热到高温,使其蒸发,然后凝结在基底上,形成薄膜。
答案摘要:
热蒸发沉积是一种 PVD 技术,在真空室中加热材料,使其蒸发,然后凝结在基底上形成薄膜。这种方法广泛应用于工业领域,例如在太阳能电池、薄膜晶体管和有机发光二极管中形成金属结合层。
-
详细说明:工艺设置:
-
工艺开始于一个不锈钢制成的真空室,内有一个由钨或钼等难熔材料制成的坩埚或坩埚船。要沉积的材料(蒸发剂)被放置在坩埚内。
-
加热和蒸发:
-
使用电阻加热将材料加热到非常高的温度,使其蒸发。这种高温是克服材料蒸气压的必要条件,使其能够有效蒸发。传输和沉积:
-
蒸发后的材料形成蒸汽,穿过真空室,沉积到基底表面。真空环境至关重要,因为它能防止蒸气与空气分子发生反应,确保沉积的清洁。
-
凝结和薄膜形成:
蒸汽到达基底后,会凝结成一层固体薄膜。薄膜的厚度和均匀性可以通过调节蒸发速度和沉积过程的持续时间来控制。应用: