电阻加热蒸发法是一种利用各种材料制造薄膜的工艺。这种方法是在真空环境中加热固态材料，直至其蒸发，然后在基底上凝结。
关于电阻加热蒸发的 5 个要点
1.材料的选择
蒸发所选择的材料取决于预期的应用。对于实验室规模的基本流程，通常使用金或铝等金属。对于更复杂的应用，如分子束外延，则需要选择需要精密蒸发的材料，这些材料通常放置在由氮化硼 (BN) 等被动材料制成的坩埚中。
2.加热机制
加热是通过大电流通过电阻元件来实现的。电阻元件可以是灯丝、钨或钽薄片，也可以是由钨或钼等难熔金属制成的金属舟。电阻元件将电能转化为热能，然后将材料加热到蒸发点。
3.真空环境
该过程在真空室中进行，以防止蒸发的材料与空气或其他气体发生反应。真空可确保材料的蒸汽压力超过环境压力，从而促进蒸发。
4.蒸发和凝结
材料一旦达到蒸发温度，就会变成蒸汽，并通过真空到达基底，在那里凝结成薄膜。这种薄膜是蒸发过程的最终产物，可用于建筑玻璃涂层和半导体制造等各种应用。
5.间接加热
对于对直接高温敏感的材料，可采用间接加热法。使用氧化铝、氧化钇或氧化锆等耐热材料制成的坩埚来盛放材料。然后，加热器加热坩埚，进而蒸发里面的材料。
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