蒸发材料是可以加热到高温直至蒸发的物质,可在表面形成薄膜或涂层。这些材料包括金、银、钛、钨和铜等金属,以及二氧化硅等非金属。当这些材料的原子或分子获得足够的能量,克服固态或液态中的结合力,转变为气态时,就会发生蒸发过程。这种情况通常发生在材料被加热到熔点或熔点以上,增加其蒸气压时。
在真空环境中,气化的材料直接到达基底表面,在那里凝结并形成薄膜。蒸发舟、喷流室和坩埚等各种类型的源可有效加热和汽化材料,从而促进这一过程。
此外,水、二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基亚砜(DMSO)等高沸点溶剂也可在减压条件下蒸发。这些溶剂通常采用旋转蒸发或离心蒸发等现代技术,尤其是在需要高通量合成的情况下。
蒸发材料和方法的选择取决于应用的具体要求,包括所需的薄膜特性和沉积室的条件。
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