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了解化学气相沉积(CVD)的分步机理,从前驱物引入到薄膜生长,以及它如何形成高纯度的薄膜。
了解化学气相沉积 (CVD) 反应,包括用于薄膜生长的热分解、合成和还原机制。
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化学气相沉积(CVD)是通过控制的气相化学反应在表面上形成高质量固体薄膜的过程。
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