知识 如何进行物理气相沉积?4 个关键步骤详解
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

如何进行物理气相沉积?4 个关键步骤详解

物理气相沉积(PVD)是一种将材料薄膜沉积到基底上的工艺。

该工艺包括将固体前驱体转化为蒸汽,然后将蒸汽冷凝到基底上。

PVD 以生产坚硬、耐腐蚀、耐高温、与基材附着力强的涂层而著称。

物理气相沉积被认为是一种环保技术,广泛应用于电子、太阳能电池和医疗设备等各个行业。

如何进行物理气相沉积?4 个关键步骤说明

如何进行物理气相沉积?4 个关键步骤详解

1.固态转化为气态

首先使用高功率电力、激光或热蒸发等物理方法将待沉积材料转化为蒸汽。

这一步骤通常在高温真空环境中进行,以促进汽化过程。

2.蒸汽运输

气化后的材料会在低压区域内从源头被传送到基底。

这种输送对于确保蒸气到达基底而不会造成重大损失或污染至关重要。

3.基底上的冷凝

蒸汽到达基底后,会发生冷凝,形成一层薄膜。

薄膜的厚度和特性取决于前驱体材料的蒸汽压力和沉积环境的条件。

4.环境和工业影响

PVD 技术之所以受到青睐,不仅因为它能够生产高质量的涂层,还因为它具有环境效益。

该工艺不涉及有害化学物质,而且能效高,是工业应用中的可持续选择。

电子、航空航天和医疗设备制造等行业都在使用 PVD,因为它能在各种基材上形成耐用的功能性涂层。

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