碳化硅（SiC）是通过各种方法合成的，每种方法都有其独特的工艺和优点。
1.固态反应法
这种方法使用二氧化硅和活性炭作为原料。
二氧化硅通过碱提取和溶胶-凝胶法从硅稻壳中获得。
2.升华法
这种方法涉及受控升华碳化硅。
外延石墨烯是通过电子束或电阻加热对碳化硅基底进行热分解来实现的。
该过程在超高真空 (UHV) 中进行，以最大限度地减少污染。
硅解吸后，SiC 硅片表面多余的碳重新排列，形成六方晶格。
然而，这种方法成本较高，而且大规模生产需要大量的硅。
3.化学气相沉积（CVD）法
化学气相沉积法用于 SiC 薄膜的生长。
源气体的选择取决于基底的热稳定性。
例如，硅烷（SiH4）在 300 至 500 ℃ 之间沉积，二氯硅烷（SiCl2H2）在 900 ℃ 左右沉积，正硅酸四乙酯（Si(OC2H5)4）在 650 至 750 ℃ 之间沉积。
这一过程会形成一层低温氧化物（LTO）。
然而，与其他方法相比，硅烷产生的氧化物质量较低。
CVD 氧化物的质量通常低于热氧化物。
4.CVD 在碳化硅上生长石墨烯
在碳化硅上用 CVD 制备石墨烯是一种新型技术，它具有更多的通用性，并通过考虑各种参数来影响石墨烯层的质量。
在碳化硅上进行 CVD 制备的关键因素是温度较低，这可以防止碳化硅原子扩散到碳化硅晶体的主体中。
这将导致在基底和石墨烯单层之间形成针刺点，从而获得所需的独立石墨烯。
这种技术适用于大规模制造 CVD 石墨烯。
5.多晶金属上的 CVD 石墨烯
SiC 也可用于在多晶金属上通过 CVD 生长石墨烯。
这种方法利用了 SiC 的耐磨和高温强度特性。
反应结合碳化硅法是将碳化硅和碳的混合物制成的压实物渗入液态硅中，液态硅与碳反应形成碳化硅。
烧结碳化硅法是用纯碳化硅粉末和非氧化物烧结助剂制成碳化硅，并在惰性气氛中高温烧结。
以上是碳化硅的几种合成方法，每种方法都有其优点和局限性。
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