化学气相沉积（CVD）是一种通过在反应室中分解挥发性前驱体在基底上沉积高质量薄膜和涂层的技术。在此过程中，气态反应物被输送到加热的基底上，在基底上分解，形成薄膜，并释放出副产物和未反应的前驱体。CVD 用途广泛，可沉积硅化物、金属氧化物、硫化物和砷化物等各种材料。
工艺详情：
在化学气相沉积过程中，一种或多种挥发性前驱体被输送到一个反应室，在那里与加热的基底相互作用。热量使前驱体分解，从而在基底表面形成薄膜。这种分解也会产生化学副产物，这些副产物会与未反应的前驱体一起从反应室中排出。该过程可通过调整前驱体的化学成分以及反应腔内的温度和压力等条件来控制。CVD 的类型：
CVD 方法包括各种技术，如传统 CVD、等离子体增强 CVD (PECVD) 和原子层沉积 (ALD)。这些方法在真空条件下进行，可精确控制薄膜层的沉积，厚度从纳米到微米不等。这种精确度对于获得均匀、高质量的涂层至关重要，可显著改变基材的特性，包括电气、机械、光学、热学和耐腐蚀性能。
金属化应用：
CVD 在金属化（在表面沉积一层金属薄膜）中发挥着至关重要的作用。与传统的电镀不同，CVD 可以沉积非常薄的金属层，这对于要求高精度和高性能的现代应用来说至关重要。这种方法可确保金属涂层经久耐用，达到最佳性能，而无需额外的固化工艺。
