电子涂层，又称电子束涂层，是电子显微镜中的一种工艺，用于在试样上涂上一层薄薄的导电材料。当试样暴露在高能电子束中时，为了防止试样带电，必须进行这种涂层。
在电子显微镜中，非导电材料在暴露于电子束时往往会积累电荷。这些充电效应会导致图像畸变和热辐射降解，从而导致材料从试样中剥离。为了解决这些问题，需要在试样表面涂上导电涂层。
电子涂层有两种常用方法：电子束镀膜和溅射镀膜。
电子束镀膜是将电子聚焦到目标材料上，然后对其进行加热和蒸发。这一过程可去除电子束中的带电粒子，从而形成低电荷的电子束照射到样品上。通过减少热量和带电粒子对样品的影响，电子束镀膜有助于最大限度地减少充电效应。
另一方面，溅射镀膜利用的是一种称为等离子溅射的工艺。在辉光放电条件下，离子轰击阴极，导致阴极材料腐蚀。然后，溅射的原子沉积在样品和工作腔的表面，形成原始阴极材料的涂层。溅射涂层可在试样上形成一层导电薄膜，从而抑制充电、减少热损伤并增强二次电子发射。
涂层材料的选择取决于具体应用。虽然金/钯合金等金属涂层因其导电性和提高信噪比而常用，但它们可能不适合 X 射线光谱学。在 X 射线光谱学中，碳涂层是首选，因为它对成像的干扰最小，而且具有很强的电性能。
碳涂层在电子显微镜中具有许多优点。它们是无定形的，在防止导致材料表面劣化的充电机制方面非常有效。碳涂层还有助于对生物材料进行有效成像。在制备用于能量色散 X 射线光谱分析（EDS）的非导电试样时，碳涂层尤其有用。
除电子显微镜外，电子束涂层技术还可用于其他应用，如将液体涂层转化为固态固化薄膜。电子束涂层具有出色的附着力、高光泽度、抗划伤和耐磨性，而且对环境友好。它们可用于各种市场和应用，包括柔印/网纹辊、凹印、墨轨和辊涂。
总之，电子涂层是电子显微镜中的一项重要工艺，可最大限度地减少电荷效应，提高非导电试样的成像质量。它包括使用电子束镀膜或溅射镀膜等技术应用薄导电层，镀膜材料的选择取决于应用的具体要求。
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