PVD(物理气相沉积)中的蒸发法是一种在真空环境中利用热能将固体材料转化为蒸汽的工艺。
然后,蒸气在基底上凝结成薄膜。
这种方法是 PVD 最简单的形式之一,因其简单有效而被广泛使用。
PVD 蒸发法概述
PVD 蒸发法主要使用热蒸发。
在此过程中,使用电阻热源将材料加热到熔点或熔点以上,使其蒸发。
蒸发后的材料形成蒸汽流,通过真空室沉积到基底上,形成薄膜。
这种方法特别适用于沉积金属和其他可承受高温而不会降解的材料。
详细说明
1.加热材料
在热蒸发法中,要沉积的材料被放置在一个容器中,通常称为船或篮子。
然后使用电阻热源对容器进行加热。
热源通常包括通过容器的高电流,从而产生足够的热量,将材料的温度提高到熔点,并进一步提高到汽化点。
2.真空蒸发
整个过程在高真空室中进行。
真空环境至关重要,因为它可以最大限度地减少空气分子的存在,否则空气分子可能会与蒸发材料发生反应或导致其过早凝结。
真空还能确保蒸汽流畅通无阻地到达基底。
3.在基底上沉积
蒸发后,材料会形成气流穿过真空室。
然后,气流遇到基底,在基底上凝结并形成薄膜。
薄膜的特性,如厚度和均匀性,可通过调节蒸发速度以及源和基底之间的距离来控制。
4.应用
这种方法广泛应用于各行各业,用于沉积金属等材料的薄膜。
应用领域包括薄膜晶体管、太阳能电池和有机发光二极管(OLED)。
热蒸发法的简单性和多功能性使其成为许多 PVD 应用的热门选择。
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