化学气相沉积(CVD)是一种使用气态或液态反应物在基底上形成固态薄膜的工艺。
6 个关键步骤说明
1.引入反应物
该工艺从引入反应物开始。反应物通常为气态或挥发性液态,含有形成所需薄膜所需的元素。
2.反应室
然后将反应物引入反应室。反应室通常处于真空状态,以控制环境并确保沉积过程的纯度。
3.能量应用
应用各种形式的能量来启动和维持化学反应。这包括提高温度、使用等离子体或采用光辐射。
4.化学反应
反应物在基底表面发生化学反应。这些反应会形成新的固体物质,并以薄膜的形式沉积在基底上。
5.薄膜的沉积和形成
随着反应的继续,所需的薄膜材料会在基底上累积。这一过程受到严格控制,以确保薄膜的均匀性和粘附性。
6.优势和应用
CVD 以其多功能性和生产高纯度薄膜的能力而著称,并能精确控制薄膜的特性。它广泛应用于半导体和材料科学等行业。
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