知识 什么是物理气相沉积原理?了解物理气相沉积的 4 个关键步骤
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技术团队 · Kintek Solution

更新于 2个月前

什么是物理气相沉积原理?了解物理气相沉积的 4 个关键步骤

物理气相沉积(PVD)是一种在真空环境中将固体材料转化为气相状态的工艺。

然后将这种蒸气沉积到基底上形成薄膜涂层。

物理气相沉积因能形成具有优异机械、化学和光学性能的涂层而闻名。

这些特性提高了不同行业各种产品的性能。

了解物理气相沉积的 4 个关键步骤

什么是物理气相沉积原理?了解物理气相沉积的 4 个关键步骤

1.材料气化

在物理气相沉积过程中,首先要蒸发一种固体材料,通常称为 "靶材"。

靶材可以由钛、锆、铬等金属或其他金属元素制成。

气化主要通过两种方法进行:"溅射 "或 "电弧放电"。

在溅射过程中,目标材料受到高能粒子的轰击,导致原子从目标材料中喷射出来。

在电弧放电中,使用高电流、低电压电弧使目标材料气化。

2.运输和反应

材料一旦汽化,就会以原子或离子的形式通过真空室传送到基底。

在某些情况下,会将氮气等活性气体引入真空室。

金属离子和活性气体之间的相互作用会导致化学反应,形成有助于最终涂层特性的化合物。

3.沉积

气化后的材料在基材表面凝结,形成薄膜。

这种沉积是逐个原子进行的,可确保较强的附着力。

它允许使用多种材料对金属、塑料、玻璃和陶瓷等各种基材进行涂层。

4.PVD 涂层的特点

PVD 涂层以高硬度、耐磨性和耐用性著称。

由于该工艺在真空条件下进行,可最大限度地减少对环境的污染,因此也非常环保。

由于能够精确控制沉积过程,因此可以根据不同应用的需要制造出具有特定性能的涂层。

这些特性包括提高耐腐蚀性、增强光学特性或增加硬度。

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