化学气相沉积(CVD)是用于沉积绝缘薄膜的方法。
这种方法是将气体或蒸汽引入加工室,在加工室中发生化学反应。
结果,一层薄薄的材料沉积到基底上。
基底通常会被加热,以加速这一过程并提高所形成薄层的质量。
CVD 具有高度精确性和可控性,因此适用于制造具有特定特征和特性的薄膜。
5 种关键技术说明
1.化学气相沉积(CVD)
化学气相沉积是一种多功能、精确的绝缘薄膜沉积方法。
2.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
在半导体器件制造方面,采用了多种 CVD 技术,如等离子体增强 CVD (PECVD)。
3.高密度等离子体化学气相沉积(HDP-CVD)
高密度等离子体 CVD (HDP-CVD) 是另一种用于形成关键绝缘层的技术。
4.原子层沉积(ALD)
原子层沉积 (ALD) 也可用于满足特定材料和器件结构的要求。
5.绝缘层的重要性
这些层对于隔离和保护器件内的电气结构至关重要。
CVD 技术的选择取决于制造材料和设备结构的具体要求。
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