薄膜是通过各种沉积技术生成的,这些技术可以精确控制薄膜的厚度和成分。
这些技术包括蒸发、溅射、化学气相沉积(CVD)和旋涂。
每种方法都是在基底上沉积一层材料,厚度从几分之一纳米到几微米不等。
制作薄膜的 4 种基本技术
蒸发
蒸发是一种物理气相沉积(PVD)技术,需要沉积的材料会被加热直至变成蒸汽。
然后蒸汽在基底上凝结形成薄膜。
这种方法尤其适用于沉积金属和某些半导体。
溅射
溅射是将材料从 "目标 "源喷射到基底上。
通常是在真空环境中用离子轰击靶材。
喷射出的粒子在基底上形成薄膜。
溅射技术用途广泛,可沉积多种材料,包括金属、半导体和绝缘体。
化学气相沉积(CVD)
化学气相沉积(CVD)是通过气体前驱体之间的化学反应形成薄膜。
这些气体在基底上或基底附近发生反应,沉积出固体薄膜。
化学气相沉积被广泛用于沉积高质量薄膜,并可通过控制来生产具有特定性能(如导电性或光学透明度)的薄膜。
旋转镀膜
旋转涂层是一种主要用于在平面基底上形成薄膜的技术。
在基底上涂敷液体前驱体,然后将基底高速旋转。
离心力会将液体均匀地扩散到基底表面,溶剂蒸发后就会留下一层薄膜。
这种方法通常用于生产半导体器件和光学涂层。
这些沉积技术在各种应用中都至关重要,从在镜子上制作反射涂层,到开发用于电子、能源生产(如薄膜太阳能电池)和存储(如薄膜电池)的先进材料。
通过这些方法提供的精确控制,可以制造出具有定制特性的薄膜,这对现代技术应用至关重要。
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