知识 沉积是物理沉积还是化学沉积?需要了解的 5 个要点
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更新于 1个月前

沉积是物理沉积还是化学沉积?需要了解的 5 个要点

沉积可分为物理沉积和化学沉积。

需要了解的 5 个要点

沉积是物理沉积还是化学沉积?需要了解的 5 个要点

1.物理沉积

物理沉积又称物理气相沉积(PVD),是指使用机械、机电或热力学手段生成固体薄膜。

物理沉积的例子包括蒸发、升华和溅射。

在物理沉积过程中,制造过程中不会产生新物质。

物理沉积通常需要在低压蒸汽环境中才能正常工作,通常在高真空或超高真空环境中进行,以避免环境大气的污染。

物理沉积法因其能够提供可控、可重现的薄膜特性(如成分、厚度、微观结构和附着力)而备受青睐。

2.化学沉积

另一方面,化学沉积也称为化学气相沉积(CVD),涉及气相化学反应。

这包括化学浴沉积、电镀、分子束外延和热氧化等过程。

化学沉积法涉及消耗旧材料和生产新物质。

它可以利用惰性载气,甚至可以在大气压力下进行。

化学沉积可沉积出具有所需特性(如化学、机械、电气或光学特性)的薄膜。

3.应用和优势

物理沉积法和化学沉积法都有各自的应用领域和优势。

两种方法的选择取决于各种因素,如成本、薄膜厚度、源材料的可用性和成分控制。

物理气相沉积法由于污染小,通常是 "环保 "社会的首选。

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