真空蒸发是将材料加热以在各种基底上形成薄膜或涂层的过程。这一过程在真空环境中进行，以防止污染并确保只有所需的材料才能形成薄膜。
7 大要点解析：真空蒸发使用哪些材料？
1.蒸发材料的定义和用途
蒸发材料是通过蒸发过程在表面上形成薄膜或涂层的物质。
这些材料被加热至高温，直至汽化。汽化后的材料在基底上凝结成薄膜。
2.蒸发舟
蒸发舟是必不可少的热蒸发材料。它们通常由钨、钼和钽制成。
这些蒸发舟包含 BN、TiB2 和 AlN 粉末等原材料。其变体包括 3 组份舟和 2 组份舟。
3.篮式加热器
篮式加热器允许将蒸发材料直接装入篮中，而无需坩埚。
蒸发源的选择取决于涂层基底，以确保蒸发源与基底相匹配。
4.真空蒸发过程
真空蒸发的气体压力范围为 10-5 至 10-9 托，以防止污染。
被蒸发的材料必须达到其蒸气压为 10 mTorr 或更高的温度，才能实现可观的沉积率。
典型的气化源包括电阻加热绞线、舟或坩埚以及高能电子束。
5.间接加热
有些材料直接暴露在高温下容易受到侵蚀，因此有必要进行间接加热。
氧化铝、氧化钇或氧化锆等耐热且稳定的材料可用于制作间接加热的坩埚。
6.热蒸发材料
真空蒸发可使用多种材料，包括金、银、钛、二氧化硅、钨、铜和各种合金。
选择这些材料的依据是它们与基底的兼容性以及所需的薄膜特性。
7.历史背景
真空中的热蒸发研究始于 19 世纪末，H. Hertz 和 S. Stefan 等科学家对此做出了早期贡献。
托马斯-爱迪生申请了一项关于真空蒸发和薄膜沉积的专利，尽管他的工艺并不涉及熔融材料的蒸发。
通过了解这些要点，实验室设备采购人员可以就真空蒸发过程中蒸发材料的选择和使用做出明智的决定，确保其特定应用获得最佳效果。
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