物理气相沉积（PVD）是通过将材料从凝结相转化为气相，然后在基底上凝结，从而在基底上沉积薄膜或涂层的工艺。该工艺通常在高温真空条件下进行，以确保沉积材料的纯度和质量。
工艺概述：
- 源材料制备： 首先使用溅射、蒸发或热处理等物理方法将待沉积材料转化为气态。这通常需要使用大功率电力或激光来气化固体前驱体材料。
- 运输： 气化后的材料在低压区域内从源头传输到基底。这一步骤可确保材料不受污染，并有效地到达基底。
- 沉积和凝结： 蒸汽在基底上凝结，形成一层薄膜。薄膜附着在基材上，形成涂层，通常具有硬度、耐腐蚀性和耐高温性等特点。
详细说明：
- 源材料制备： 在 PVD 技术中，源材料通常是转化为蒸汽的固体或液体。溅射等技术是用高能粒子轰击源材料，使原子从表面喷射出来。而蒸发则是对材料进行加热，直至其变成蒸汽。这些方法可确保材料在沉积前处于纯净状态。
- 运输： 蒸气必须在无重大损失或污染的情况下输送到基底。这可以通过保持真空环境来实现，真空环境可以减少可能与蒸气发生相互作用的气体分子数量，从而可能改变蒸气的成分或导致蒸气过早凝结。
- 沉积和凝结： 一旦蒸气到达基底，它就会凝结，形成一层薄膜。这层薄膜的特性，如厚度和与基底的附着力，对其效果至关重要。薄膜必须足够薄，以避免重量或体积过大，但又必须足够厚，以提供所需的特性，如硬度或耐腐蚀性。
环境因素：
PVD 不产生有害的副产品，而且材料使用效率高，因此被认为是一种环保工艺。沉积室的受控环境可确保废物最少和材料利用率高。应用：
