电子束蒸发沉积薄膜主要用于太阳能电池板、眼镜和建筑玻璃等光学应用领域。这种方法也适用于航空航天和汽车行业,因为它能生产出耐高温和耐磨的材料。
电子束蒸发工艺:
在电子束蒸发工艺中,使用高电荷电子束蒸发目标材料。电子束通过磁场聚焦到目标材料上,电子轰击产生的热量足以蒸发各种材料,包括熔点极高的材料。蒸发后的材料沉积在基底上,形成薄膜。此过程在低压室中进行,以防止背景气体与薄膜发生化学反应。应用和材料:
电子束蒸发可提供多种材料选择,包括金属和电介质类型的材料。该技术用途广泛,可用于各种目的,如升离、欧姆、绝缘、导电和光学应用。该工艺因其多层沉积的能力而备受青睐,四口袋旋转口袋源等源头为多层沉积提供了便利。
优势和控制:
电子束蒸发的一大优势在于其可控性和可重复性。它还允许使用离子源来增强薄膜的性能特征。该工艺具有高度可控性,可实现材料的精确沉积,这对于需要特定光学特性或高环境耐受性的应用至关重要。